RESEARCHER 研究者一覧 菅原 広剛 Hirotake Sugawara 大学院情報科学研究院 准教授 研究キーワード プラズマモデリング／シミュレーション エッチング・薄膜堆積・表面改質用プロセスプラズマ 磁界によるプラズマ制御 研究員一覧へ戻る
