ミッション
異種界面制御・評価技術とインフォマティクスを駆使した３次元半導体の形成・加工プロセス研究開発
コアコンピタンス（独自の強み）
インフォマティクスを活用した、ナノ加工技術の開発。バイオテクノロジー等、様々な分野の知見をもとにした、創発的プロセス開発。
部門メンバー
部門長
松尾 保孝
Yasutaka Matsuo
電子科学研究所教授
清水 裕樹
Yuki Shimizu
工学研究院教授
齊藤 晋聖
Kunimasa Saitoh
情報科学研究院教授
末岡 和久
Kazuhisa Sueoka
情報科学研究院教授
池辺 将之
Masayuki Ikebe
量子集積エレクトロニクス研究センター教授
菅原 広剛
Hirotake Sugawara
情報科学研究院准教授