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赤澤 正道Masamichi Akazawa量子集積エレクトロニクス研究センター
准教授研究キーワード- 窒化物半導体デバイス作製プロセス
- 窒化物半導体表面・界面制御
- 窒化物半導体プロセス欠陥制御
- MOS構造
研究キーワード- 窒化物半導体デバイス作製プロセス
- 窒化物半導体表面・界面制御
- 窒化物半導体プロセス欠陥制御
- MOS構造
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アグス スバギョAgus Subagyo大学院情報科学研究院
准教授研究キーワード- 低次元物質
- ハーフメタル材料
- ナノエレクトロニクス/スピントロニクスデバイス
- 表面原子構造計測/表面スピン状態計測
研究キーワード- 低次元物質
- ハーフメタル材料
- ナノエレクトロニクス/スピントロニクスデバイス
- 表面原子構造計測/表面スピン状態計測
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太田 裕道Hiromichi Ohta電子科学研究所
教授研究キーワード- 全固体電気化学熱トランジスタ
- 透明酸化物薄膜トランジスタ
- 酸化物熱電変換材料
- エピタキシャル酸化物薄膜成長
研究キーワード- 全固体電気化学熱トランジスタ
- 透明酸化物薄膜トランジスタ
- 酸化物熱電変換材料
- エピタキシャル酸化物薄膜成長
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太田 竜一Ryuichi Ohta電子科学研究所
准教授研究キーワード- 半導体微細加工
- 低温顕微分光
- ナノフォトニクス
- レーザー冷却
研究キーワード- 半導体微細加工
- 低温顕微分光
- ナノフォトニクス
- レーザー冷却
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片山 司Tsukasa Katayama電子科学研究所
准教授研究キーワード- 薄膜結晶成長
- 強誘電体薄膜
- 圧電体薄膜
- 誘電体薄膜
- 剥離技術
研究キーワード- 薄膜結晶成長
- 強誘電体薄膜
- 圧電体薄膜
- 誘電体薄膜
- 剥離技術
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小林 一道Kazumichi Kobayashi大学院工学研究院
准教授研究キーワード- 高クヌーセン数
- クヌーセン拡散
- 吸着係数
- Boltzmann方程式
研究キーワード- 高クヌーセン数
- クヌーセン拡散
- 吸着係数
- Boltzmann方程式
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末岡 和久Kazuhisa Sueoka大学院情報科学研究院
教授研究キーワード- 走査型プローブ顕微鏡
- 表面原子構造計測
- 磁場センサー開発
- 表面スピン状態計測・スピン依存分光
- 微小電磁場計測等
研究キーワード- 走査型プローブ顕微鏡
- 表面原子構造計測
- 磁場センサー開発
- 表面スピン状態計測・スピン依存分光
- 微小電磁場計測等
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菅原 広剛Hirotake Sugawara大学院情報科学研究院
准教授研究キーワード- プラズマモデリング／シミュレーション
- エッチング・薄膜堆積・表面改質用プロセスプラズマ
- 磁界によるプラズマ制御
研究キーワード- プラズマモデリング／シミュレーション
- エッチング・薄膜堆積・表面改質用プロセスプラズマ
- 磁界によるプラズマ制御
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冨岡 克広Katsuhiro Tomioka大学院情報科学研究院
教授研究キーワード- 半導体ナノ材料
- 薄膜結晶成長
- 先端半導体デバイス開発
- 先端半導体プロセス
研究キーワード- 半導体ナノ材料
- 薄膜結晶成長
- 先端半導体デバイス開発
- 先端半導体プロセス
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富田 健太郎Kentaro Tomita大学院工学研究院
准教授研究キーワード- EUV露光
- EUV検査光源
- EUV光源用プラズマ
- 電子温度
- 電子密度
- トムソン散乱法
研究キーワード- EUV露光
- EUV検査光源
- EUV光源用プラズマ
- 電子温度
- 電子密度
- トムソン散乱法
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長島 一樹Kazuki Nagashima電子科学研究所
教授研究キーワード- 酸化物ナノワイヤ/ナノシート
- ナノ半導体センサデバイス
- 多種センサ材料集積化プロセス
- 機能融合デバイス
- 人工嗅覚
- 表面化学修飾
- 化学情報収集・利活用
研究キーワード- 酸化物ナノワイヤ/ナノシート
- ナノ半導体センサデバイス
- 多種センサ材料集積化プロセス
- 機能融合デバイス
- 人工嗅覚
- 表面化学修飾
- 化学情報収集・利活用
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八田 英嗣Eiji Hatta大学院情報科学研究院
助教研究キーワード- 単分子膜
- 階層構造形成
- ナノ・マイクロスケール構造解析
- 新奇な発現ダイナミクスの探索
研究キーワード- 単分子膜
- 階層構造形成
- ナノ・マイクロスケール構造解析
- 新奇な発現ダイナミクスの探索
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松尾 保孝Yasutaka Matsuo電子科学研究所
教授研究キーワード- 原子層堆積（ALD）
- 時間分解光電子顕微鏡
- 有機無機ナノ界面分析
- 微細加工プロセス開発
研究キーワード- 原子層堆積（ALD）
- 時間分解光電子顕微鏡
- 有機無機ナノ界面分析
- 微細加工プロセス開発
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米澤 徹Tetsu Yonezawa大学院工学研究院
教授研究キーワード- 低温焼結プロセス
- 高信頼性接合技術
- 高破断強度材料
- 導電性ペースト
- ビア充填技術
- 3D集積配線技術
- 銅焼結インターコネクト
- 高密度配線
- 低温プロセス実装
- 次世代半導体パッケージング
- 銅ナノインク技術
研究キーワード- 低温焼結プロセス
- 高信頼性接合技術
- 高破断強度材料
- 導電性ペースト
- ビア充填技術
- 3D集積配線技術
- 銅焼結インターコネクト
- 高密度配線
- 低温プロセス実装
- 次世代半導体パッケージング
- 銅ナノインク技術
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渡部 正夫Masao Watanabe大学院工学研究院
教授研究キーワード- 洗浄
- 二流体洗浄
- 物理洗浄
- 液滴衝突
- 混相流
- 界面現象
研究キーワード- 洗浄
- 二流体洗浄
- 物理洗浄
- 液滴衝突
- 混相流
- 界面現象
RESEARCHER