ミッション

最先端電子顕微鏡技術を用いた極微３次元構造の計測・分析とAIの融合によるナノ構造由来新奇現象の開拓

コアコンピタンス（独自の強み）

世界的にもユニークな複合量子ビーム超高圧電子顕微鏡をはじめ、収差補正走査透過型電子顕微鏡などの顕微解析装置やX線光電子分光装置やラマン顕微鏡等の分光装置を組み合わせたデバイス表面・界面の評価。

部門メンバー

部門長

柴山　環樹

Tamaki Shibayama

工学研究院教授

太田　裕道

Hiromichi Ohta

電子科学研究所教授