RESEARCHER 研究者一覧 柴山 環樹 Tamaki Shibayama 大学院工学研究院 教授 研究キーワード 収差補正STEM 高分解能TEM EDS EELS SEM FIB ワイドギャップ半導体 化合物半導体 イオン照射 照射欠陥 残留弾性歪 絶縁膜 界面 その場IV測定 研究員一覧へ戻る
